Capteurs résonants en technologie MEMS : principes et procédés de fabrication

Dérivée de la technologie de la micro-électronique, la production des MEMS (Micro Electro Mechanical Systems ou Micro-Systèmes Electro-Mécaniques) recourt aux micro-technologies qui permettent des fabrications collectives. Les MEMS sont utilisés dans de vastes domaines d’activités comme l’aéronautique, l’automobile ou encore la médecine. Le développement des MEMS a engendré de nombreuses applications et technologies ; dans cette ressource, il n’en est pas fait une présentation complète et exhaustive, mais une focalisation sur deux exemples de capteurs MEMS de type résonant.

Cette ressource explique en premier lieu le principe de fonctionnement des capteurs de type résonant. Dans un deuxième temps, les processus de fabrication et les micro-technologies, mis en œuvre de manière générale dans le domaine des MEMS, sont expliqués.

Contenu de la ressource :

1. Principe d'un capteur résonant
2. Capteur à poutre résonante pour la détection d'espèces
3. Capteur à onde de surface (SAW : Surface Acoustic wave)
4. Les procédés associés aux micro-technologies
5. Exemple de production