MEMS : contexte et applications

Les MEMS, acronyme de Micro Electro Mechanical Systems, sont des dispositifs miniaturisés  combinant plusieurs principes physiques. Ils intègrent généralement des éléments mécaniques couplés à de l’électronique et sont réalisés par des procédés de fabrication issus de la micro-électronique. Les MEMS exploitent, entre autres, des effets liés à l’électromagnétisme, la thermique et la fluidique. Ils sont dans notre quotidien, au cœur de la téléphonie, de l’automobile, du médical, des chaînes de production ou des manettes de consoles de jeux.

Cette ressource a pour objectifs de présenter les microsystèmes et leurs domaines d’applications, ainsi que les principes physiques associés à leur conception. La technique de la photolithographie, base de la production des MEMS est également présentée.

1. Le contexte : pourquoi la miniaturisation ?
2. Les différents secteurs des MEMS
3. Les principes physiques du microsystème
4. Production des MEMS